隨著5G通信、人工智能、新能源汽車等產業的飛速發展,對高端半導體器件的需求呈爆炸式增長。外延作為制造射頻前端芯片、功率器件和高端光源的核心工藝,其質量直接決定了芯片的性能與良率。
該項目作為大灣區重點項目之一,建成后將成為碳化硅(SiC)外延片產業鏈的強大引擎,打造高端晶片制造業的行業典范,助力半導體產業發展。本次項目將打造具有國際競爭力的“總部+制造+配套”一體化產業綜合體。
半導體外延晶片凈化工程項目涉及恒溫恒濕環境系統、內裝工程、智能化與自控系統項目、暖通、電氣工程、PCW工藝冷卻水、RO/DI反滲透、壓縮空氣等綜合性建設項目。合景凈化工程公司為客戶提供車間整體規劃、設計、采購、施工、調試交付等全過程EPC總承包服務。
十級電子凈化工程裝修注意事項:
潔凈區封閉管理:采用氣密性良好的圍擋材料,將施工區域與外部環境完全隔離。設置獨立的人員、物料進出口,并安裝風淋室、傳遞窗等凈化設備。人員進出必須更換潔凈服、鞋套,佩戴口罩、手套,經過風淋除塵后方可進入。
空氣凈化系統:施工過程中,持續開啟空氣凈化系統,確保潔凈區內的空氣始終處于凈化狀態。根據施工進度和區域,合理調整送風量和換氣次數,保證潔凈區的潔凈度等級不低于設計要求。定期對空氣進行檢測,實時監測空氣中懸浮粒子的數量和粒徑分布。
溫濕度控制:嚴格控制潔凈區內的溫濕度,溫度一般保持在22±2℃。相對濕度控制在45%-65%。安裝溫濕度傳感器,實時監測并反饋數據,通過空調系統進行精準調節。確保潔凈區與相鄰區域之間保持合理的壓力差,一般潔凈區相對非潔凈區保持5-10Pa的正壓。
材料和設備檢驗:所有進入施工現場的材料和設備必須具備質量合格證明文件,并按照相關標準進行檢驗。對于凈化工程中常用的彩鋼板、高效過濾器、風管等材料,要檢查其規格、型號、性能是否符合設計要求。設備方面,要對空調機組、風機等設備進行試運行,確保其性能穩定、運行正常。
空調機組安裝:車間內空調機組是空氣處理的核心設備,其安裝位置要合理,便于操作和維護。在安裝過程中,要保證機組的水平度和垂直度,連接管道要密封良好,防止空氣泄漏。機組安裝完成后,要進行調試和試運行,檢查機組的各項性能指標是否符合設計要求。
電氣系統要求:電子凈化工程的電氣系統要滿足潔凈、安全、可靠的要求。電線電纜的敷設要采用暗敷或橋架敷設方式,避免在凈化區域內明敷。電氣設備的安裝要牢固、整齊,接地良好。在凈化區域內使用的燈具、開關等電氣設備要選擇密封性好、易于清潔的產品。
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