2025-11-20
半導(dǎo)體潔凈室地面系統(tǒng)需滿足嚴(yán)格的物理化學(xué)性能指標(biāo)。根據(jù)SEMI標(biāo)準(zhǔn)及《電子工業(yè)潔凈廠房設(shè)計(jì)規(guī)范》，地面系統(tǒng)應(yīng)具備以下特性：平整度誤差≤2mm/2m，耐磨轉(zhuǎn)數(shù)≥2000轉(zhuǎn)，抗壓強(qiáng)度≥80MPa，系統(tǒng)電阻控制在1×10^6~1×10^9Ω。同時(shí)需滿足防靜電、耐化學(xué)品腐蝕、抗熱沖擊等特殊要求。
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凈化工程公司
工信部備案號：